關(guān)于Gener系列

AS/AR Vacuum Coater

此真空鍍膜機(jī)是鍍制防污膜（AS膜）及防反射膜+防污膜（AS+AS膜）的大型光學(xué)鍍膜機(jī)， 應(yīng)用于智慧手機(jī)等所配的觸摸屏。

特征
磁密封驅(qū)動(dòng)的基板旋轉(zhuǎn)方式可得到穩(wěn)定和均勻的膜厚分布
配備RF離子源以提高膜的耐摩擦性。（*已通過(guò)4萬(wàn)次以上摩擦試驗(yàn)*）
* 根據(jù)摩擦試驗(yàn)的規(guī)格，摩擦的次數(shù)有所不同。
防污膜（AS 膜）批量生產(chǎn)。
規(guī)格
真空室 Ф2350mm×H 1400mm
基板架 Ф2200 mm，5片式
基板架轉(zhuǎn)速 20rpm
晶振式膜厚計(jì) 6點(diǎn)式水晶傳感器
蒸發(fā) 電子槍1臺(tái)，熱阻蒸1臺(tái)
離子源 RF離子源
性能
達(dá)到壓力 7.0E-5Pa 以下
排氣時(shí)間 15分以下（大氣壓～2.0×10-3 Pa）
工作條件
設(shè)備尺寸 約6300mm (W) ×9000mm (D) ×4000mm (H)
電源 3相,200v,50/60Hz, 約80KVA
水流量 220升/分以上
空氣壓力 0.5 - 0.7 MPa
重量 約12000kg