ALDER
ALDER-800TBS
ALDER-800TBS (A800TBS) 是一種熱模式 ALD 系統(tǒng)，具有大容量負(fù)載鎖定機(jī)制，可實(shí)現(xiàn)高通量、高均勻性和出色的重現(xiàn)性。
- 特征
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專為 LED 等高通量 ALD 應(yīng)用而設(shè)計(jì)
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以良好的再現(xiàn)性實(shí)現(xiàn)高度均勻的沉積工藝
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6 秒以下的快速 ALD 循環(huán)
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維護(hù)周期長(zhǎng)
