離子源
OIS-CDM
OIS-CDM可以測量離子源的離子電流密度，可以通過選擇專用程序自動進(jìn)行測量。
- 規(guī)格
- 電源電壓 交流電 100 V±15 ％
- 偏置電源（內(nèi)部） 0至±60 V / 0.5 A
- 標(biāo)準(zhǔn)測量范圍 ±199.99 mA至±1.9999 mA規(guī)管，電纜，導(dǎo)入接頭
- 標(biāo)準(zhǔn)規(guī)管 φ30mm（φ8mm，測量平面），10個
- 掃描點(diǎn)數(shù) 32點(diǎn)
- 尺寸 480 × 99 × 330 mm
