HOM1-1

高精度光學(xué)膜厚監(jiān)控儀

特征

高NA值光學(xué)系統(tǒng)和低噪音電路設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)低噪音，相對(duì)值達(dá)到 +0.01%

應(yīng)用高分解能分光光學(xué)系，波長(zhǎng)分解能達(dá)到0.08nm(1550nm)

使用鹵素?zé)艄庠?，使用波長(zhǎng)范圍1100nm-1700nm

運(yùn)用先進(jìn)的成膜計(jì)算控制技術(shù),光透過(guò)率的極值監(jiān)控能力可達(dá)+0.01%

規(guī)格

型號(hào) HOM1-1

波長(zhǎng)帶域 1100nm - 1700nm

波長(zhǎng)分解能 0.08nm

光亮設(shè)定分解能 0.001%

光源 鹵素?zé)?/span>

電源 AC100V±10%, 50/60Hz

消費(fèi)電力 600VA