光學(xué)膜厚監(jiān)控儀

DHOM-T

直接透過式監(jiān)控儀

DHOM-T是可直接監(jiān)控成膜過程中旋轉(zhuǎn)基板上的光學(xué)膜厚的光學(xué)膜厚計。 波長帶域為350～1100nm與350～2400nm。

特征
可直接監(jiān)控旋轉(zhuǎn)基板片上的光學(xué)膜厚
旋轉(zhuǎn)基板上的監(jiān)控點可變(鍍膜前調(diào)整)
可同時配備間接控制儀能實現(xiàn)各層間控制方式切換
規(guī)格
型號 DHOM2-T DHOM4-T
波長帶域 350 ～ 1100nm 350 ～ 2400nm
測光方式 透過式
光源 鹵素?zé)?/span>
電源 AC100V ± 10%, 50/60Hz